控股企业名称
深圳市联微半导体设备有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
100%
深圳市联微半导体设备有限公司控股企业名称
东莞市矽电半导体设备有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
100%
东莞市矽电半导体设备有限公司控股企业名称
矽旺科技（深圳）有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
100%
矽旺科技（深圳）有限公司控股企业名称
深圳市希芯智能设备有限公司
持股比例
91%
路径1(持股比例:91%)
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
91%
深圳市希芯智能设备有限公司控股企业名称
深圳市西渥智控科技有限公司
持股比例
65%
路径1(持股比例:65%)
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
65%
深圳市西渥智控科技有限公司没有更多了