一种多功能真空镀膜机转架
申请号
2013106321603
申请日期
2013/12/02
公布号
CN103590006A
公布日
2014/02/19
专利类型
发明公布
分类号
C23C14/24(2006.01)I
申请人
上海沃家真空设备科技有限公司
发明人
林锡强
钟雷
徐路
陈伟
郎文昌
刘伟
代理机构
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258
申请人地址
上海市松江区小昆山镇昆港公路888号4楼
申请人邮编
201600
摘要
本发明公开了一种多功能真空镀膜机转架，其包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分，所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮、下齿轮、支撑单元、外啮合齿和锁定部件，所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接；所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆，所述下齿轮还设置有内啮合齿，每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。本发明不仅可实现工件的定点转动，而且可任意指定靶基距，并保证工件的行星转动和自转，还可实现大公转、行星转动和自转三种转动方式的单独或任意自由搭配使用，可满足真空镀膜机的多种使用目的。
