控股企业名称
御盛微半导体（上海）有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
100%
御盛微半导体（上海）有限公司控股企业名称
盛美半导体设备无锡有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
100%
盛美半导体设备无锡有限公司控股企业名称
盛帷半导体设备（上海）有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
100%
盛帷半导体设备（上海）有限公司控股企业名称
盛美半导体设备（北京）有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
100%
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