控股企业名称
深圳市华腾自动化技术有限公司
持股比例
100%
路径1(持股比例:100%)
深圳市华腾半导体设备有限公司
100%
深圳市华腾自动化技术有限公司控股企业名称
长沙华腾智能装备有限公司
持股比例
70%
路径1(持股比例:70%)
深圳市华腾半导体设备有限公司
70%
长沙华腾智能装备有限公司控股企业名称
深圳市方腾光源技术有限公司
持股比例
50%
路径1(持股比例:50%)
深圳市华腾半导体设备有限公司
50%
深圳市方腾光源技术有限公司控股企业名称
鞍山方腾光源技术有限公司
持股比例
50%
路径1(持股比例:50%)
深圳市华腾半导体设备有限公司
50%
深圳市方腾光源技术有限公司100%
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